容器組件
真空泵
- 產(chǎn)品名稱：真空泵
- 產(chǎn)品型號(hào)： MU系列
- 產(chǎn)品廠商：日本樫山kashiyama
- 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹
真空泵
的詳細(xì)介紹
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列 電/微 詳詢 趙13062644508
無(wú)油潔凈：采用無(wú)油運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，通過(guò)精密嚙合轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，全程無(wú)潤(rùn)滑油，避免油蒸氣污染，可確保工藝腔體潔凈無(wú)殘留，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽氣性能優(yōu)越：抽速范圍廣，從較小抽速到較大抽速的型號(hào)都有，如 MU1200XE *大抽速可達(dá) 20,000L/min。極限壓力低，可達(dá) 0.1Pa 甚至更低。能快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的真空需求，可在短時(shí)間內(nèi)將真空腔室抽到所需的真空度。
節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機(jī)，運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，降低了能耗與運(yùn)行成本。同時(shí)采用變頻驅(qū)動(dòng)（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，可根據(jù)實(shí)際需求調(diào)整抽氣速度，進(jìn)一步節(jié)能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸相對(duì)較小，如 MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設(shè)備中，適合設(shè)備集成和改造項(xiàng)目，可靈活安裝在各種生產(chǎn)線上，不占用過(guò)多空間。
維護(hù)便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu)，檢修流程簡(jiǎn)單，無(wú)需復(fù)雜的拆卸和組裝過(guò)程，可降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。維護(hù)人員可快速定位和更換故障模塊，減少設(shè)備停機(jī)維修時(shí)間，提高設(shè)備利用率。
運(yùn)行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，不易出現(xiàn)故障。且噪音低、振動(dòng)小，連續(xù)排氣無(wú)脈動(dòng)，能為工作環(huán)境提供較好的條件，減少對(duì)工作場(chǎng)所的噪音污染和振動(dòng)干擾。
智能控制：具有實(shí)時(shí)參數(shù)顯示功能，可通過(guò)觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)。還配備自診斷系統(tǒng)，通過(guò)振動(dòng)、溫度傳感器對(duì)異常情況（如過(guò)載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警，并自動(dòng)停機(jī)保護(hù)，方便操作人員實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理問(wèn)題。
主要型號(hào)及參數(shù)
常見型號(hào)：包括 MU100PE/HE、MU300PE/HE、MU600PE/HE、MU1200XE、MU1800E、MU3000 等。
電源電壓：通常為三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：以 MU100PE/HE 為例，外形尺寸為 630×350×360mm；MU300PE/HE 的外形尺寸為 630×350×520mm。
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列 電/微 詳詢 趙13062644508
日本樫山kashiyama 真空泵 MU系列 電/微 詳詢 趙13062644508
無(wú)油潔凈：采用無(wú)油運(yùn)轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)，通過(guò)精密嚙合轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體壓縮，全程無(wú)潤(rùn)滑油，避免油蒸氣污染，可確保工藝腔體潔凈無(wú)殘留，適合敏感工藝如晶圓加工。
抽氣性能優(yōu)越：抽速范圍廣，從較小抽速到較大抽速的型號(hào)都有，如 MU1200XE *大抽速可達(dá) 20,000L/min。極限壓力低，可達(dá) 0.1Pa 甚至更低。能快速有效地抽取氣體，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景的真空需求，可在短時(shí)間內(nèi)將真空腔室抽到所需的真空度。
節(jié)能環(huán)保：配備低功耗電機(jī)，運(yùn)行能效比優(yōu)于同類產(chǎn)品，降低了能耗與運(yùn)行成本。同時(shí)采用變頻驅(qū)動(dòng)（VFD）調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速，可根據(jù)實(shí)際需求調(diào)整抽氣速度，進(jìn)一步節(jié)能，能耗較油封泵可降低 30%-50%。
結(jié)構(gòu)緊湊：尺寸相對(duì)較小，如 MU1200XE 尺寸為 625×275×580mm，重量約 165kg，占地面積小，便于安裝在空間有限的設(shè)備中，適合設(shè)備集成和改造項(xiàng)目，可靈活安裝在各種生產(chǎn)線上，不占用過(guò)多空間。
維護(hù)便捷：采用模塊化結(jié)構(gòu)，檢修流程簡(jiǎn)單，無(wú)需復(fù)雜的拆卸和組裝過(guò)程，可降低維護(hù)成本和停機(jī)時(shí)間。維護(hù)人員可快速定位和更換故障模塊，減少設(shè)備停機(jī)維修時(shí)間，提高設(shè)備利用率。
運(yùn)行穩(wěn)定：摩擦部件少，可承受連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，不易出現(xiàn)故障。且噪音低、振動(dòng)小，連續(xù)排氣無(wú)脈動(dòng)，能為工作環(huán)境提供較好的條件，減少對(duì)工作場(chǎng)所的噪音污染和振動(dòng)干擾。
智能控制：具有實(shí)時(shí)參數(shù)顯示功能，可通過(guò)觸摸屏或遠(yuǎn)程接口（Modbus / 以太網(wǎng)）輸出真空度、溫度、功耗等數(shù)據(jù)。還配備自診斷系統(tǒng)，通過(guò)振動(dòng)、溫度傳感器對(duì)異常情況（如過(guò)載或異物進(jìn)入）進(jìn)行預(yù)警，并自動(dòng)停機(jī)保護(hù)，方便操作人員實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)和處理問(wèn)題。
主要型號(hào)及參數(shù)
常見型號(hào)：包括 MU100PE/HE、MU300PE/HE、MU600PE/HE、MU1200XE、MU1800E、MU3000 等。
電源電壓：通常為三相 AC200 - 220V，50/60Hz。
外形尺寸：以 MU100PE/HE 為例，外形尺寸為 630×350×360mm；MU300PE/HE 的外形尺寸為 630×350×520mm。