kakuhunter寫真化學(xué) 晶圓映射膜厚測(cè)量裝置

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晶圓映射裝置能夠在*大 300 mm 的晶圓的整個(gè)表面進(jìn)行自動(dòng)映射膜厚測(cè)量。自動(dòng)對(duì)位功能、自校準(zhǔn)功能和高平整度晶圓卡盤可實(shí)現(xiàn)高度可靠的薄膜厚度測(cè)量。該裝置與小型膜厚監(jiān)視器組合使用。
它可以安裝在半導(dǎo)體制造設(shè)備的負(fù)載端口，以控制制造設(shè)備上的薄膜厚度，同時(shí)保持清潔度。

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