容器組件

HORIBA堀場制作所 電容壓力計

  • 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場制作所 電容壓力計
  • 產(chǎn)品型號：VG-200
  • 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200

HORIBA堀場制作所 電容壓力計

的詳細(xì)介紹

HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200

HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200

HORIBA堀場制作所 電容壓力計VG-200

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VG 系列電容式壓力計尺寸緊湊，采用全金屬設(shè)計，可選配自動溫度調(diào)節(jié)功能。

概要

  • 緊湊型自加熱設(shè)計

  • 電極結(jié)構(gòu)帶來高性能和高穩(wěn)定性

  • 鎳合金隔膜具有良好的耐腐蝕性

  • 設(shè)定點輸出（2 點）

  • 警報輸出

  • 通過專用軟件調(diào)整量程

  • 一鍵歸零

  • 電源要求 +/-15V 直流電或 24V 直流電

  • 符合 CE 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

 

技術(shù)論文

電容薄膜真空計研發(fā)  (1.3MB)

摘要
"在用于制造發(fā)光二極管、半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽能電池的沉積制程或蝕刻制程中使用了各種氣體，而制程壓力對產(chǎn)品質(zhì)量影響巨大，因此需要具備良好耐腐蝕性、無氣體依賴性和高精度的真空計。為滿足這些要求，HORIBA STEC 研發(fā)了電容薄膜真空計“VG-200 系列”，性能評估結(jié)果顯示其具備出色的重現(xiàn)性和長期穩(wěn)定性。本文將描述下 VG-200 系列產(chǎn)品的特性和性能評估結(jié)果。"

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