HORIBA堀場 腔室清洗**氣體監(jiān)測儀

HORIBA堀場制作所 腔室清洗**氣體監(jiān)測儀IR-400

HORIBA堀場制作所 腔室清洗**氣體監(jiān)測儀IR-400

HORIBA堀場制作所 腔室清洗**氣體監(jiān)測儀IR-400

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IR-400 可在沉積過程中實時監(jiān)測腔室清洗終點。通過優(yōu)化清洗過程，IR-400 減少了清洗時間和氣體用量。清洗氣體用量減少會降低對腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命。

概要

多氣體監(jiān)測（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422)

• 高靈敏度

• 氣室加熱功能*高可達 180℃

• 多重顯示

• 模擬/數(shù)字通信

IR-400 實時終點監(jiān)測的優(yōu)勢

• 減少腔室清洗時間

• 減少清洗氣體使用量

• 可重復和可預測的清洗過程

• 延長腔室組件壽命

應用示例 

• 監(jiān)控室排氣管線

測量技術

可靠、高性能
非分散紅外吸收法（NDIR）

IR-300 系列采用的紅外吸收法利用測量紅外光源發(fā)出的紅外光中氣體分子吸收的原理。將吸收了被測氣體的樣品輸出與無吸光度的參考輸出進行對比，并將結(jié)果轉(zhuǎn)換成氣體濃度。使用這種雙光束方法可以獲得長期穩(wěn)定的測量結(jié)果。

光學系統(tǒng)由光源、氣室和雙光束檢測器組成。雙光束檢測器的穩(wěn)定性已得到 40 多年的驗證。

配置