容器組件

HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器

  • 產(chǎn)品名稱：HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器
  • 產(chǎn)品型號：FS-3000
  • 產(chǎn)品廠商：HORIBA堀場制作所
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹
HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000

HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器

的詳細(xì)介紹

HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000

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HORIBA堀場制作所 熱式氣體分流器FS-3000

更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理


FS-3000 結(jié)合了 HORIBA STEC 質(zhì)量流量控制器（MFC）和 MuCube（主控制器）的功能。通過配備 HORIBA STEC 專有控制算法的 MuCube 控制 MFC，F(xiàn)S-3000 實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的分流控制。

        控制算法通過控制流量比實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的分流控制，同時利用 HORIBA STEC 控制優(yōu)化技術(shù)控制 FS-3000 上流壓力。此外，即使分流比改變，控制算法也能實(shí)現(xiàn)對分流的高速響應(yīng)。

  • 提高可擴(kuò)展性、維護(hù)性能。FS-3000 可通過高速信號處理分離多達(dá) 15 個通道。若 MFC 出現(xiàn)故障，僅需更換故障從機(jī)即可。

  • 靈活響應(yīng)所需規(guī)格 FS-3000 支持混合氣體在內(nèi)的多種氣體。此外，F(xiàn)S-3000 還支持 RS-485、DeviceNet 等用戶接口。



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