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HORIBA堀場(chǎng)制作所流量控制器

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HORIBA堀場(chǎng)制作所流量控制器D700uF

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HORIBA堀場(chǎng)制作所流量控制器D700uF

更多詳情咨詢：13024103468 劉經(jīng)理

微流量壓力不敏感質(zhì)量流量模塊

D700uF（Micro Flow）專為≤5SCCM流量應(yīng)用而設(shè)計(jì)。

在高縱橫比工藝中，≤5SCCM的流量控制是非常關(guān)鍵的。

專門的組件和新開發(fā)的內(nèi)部低流量標(biāo)準(zhǔn)允許高精度流量控制低至0.025SCCM。

低至0.025SCCM流量控制能力

精密調(diào)氣控制，提高工藝可調(diào)性

≤100ms升壓響應(yīng)和mfc到mfc偏差控制

提供高生產(chǎn)率和更高的過程性能

內(nèi)部流量計(jì)量

所有制造產(chǎn)品的可靠性能

狀態(tài)監(jiān)控功能

為更智能的故障預(yù)測(cè)提供更多內(nèi)部數(shù)據(jù)

PFA噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉性和耐腐蝕性

具有較小顆粒風(fēng)險(xiǎn)的魯棒性，可減少停機(jī)時(shí)間并優(yōu)化產(chǎn)量

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HORIBA堀場(chǎng)制作所 流量控制器